根据结构特点有挡板阀、插板阀、蝶阀、球阀、隔膜阀、角阀、直通阀、三通阀。根据传动原理有手动、气动、电动、电磁。一般气动是电磁先导、气缸执行动作的过程,也可用手控制先导阀气缸执行动作的过程。电动为手、电两用,当停电时可用手动进行操作。根据材料有不锈钢、碳钢、铝合金为主体材料的阀门。根据动密封的材料也可分金属密封和非金属密封阀门。轴封用O形橡胶圈一般真空动密封的漏率为10-4Pa.L/S,在轴运动过程中真空度不高,可用于要求不高的高真空条件下使用;轴封为金属波纹管密封,其漏率为10-7Pa.L/S,适用于超高真空条件下使用。
真空阀门