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精密定位平台,昴升(烟台)精密机器有限公司!
现直线电机定位平台的位置和速度的轨迹跟踪控制,本文基于内模控制(IMC)的基本原理,在直线电机定位平台参数辨识的基础上,设计了定位平台速度环的模型状态反馈(MSF)控制器和基于位置环PID和速度环MSF的级联控制器。将PID/MSF级联控制器与速度/加速度前馈控制(VFC/AFC)相结合,构成了PID/MSF+VFC/AFC的复合轨迹跟踪控制器。该复合轨迹跟踪控制器通过整定速度前馈的增益来改善位置环偏差控制的跟踪滞后现象和动态响应,增加控制系统的稳定性和伺服精度;通过整定加速度前馈的增益在不减小级联控制器位置环增益的前提下,减小速度前馈带来的超调量,提高轨迹跟踪精度。基于MATLAB/dSPACE实时仿真控制平台,实现了某直线电机定位平台的轨迹跟踪控制。仿真和实验结果表明,该轨迹跟踪控制器的轨迹跟踪精度为±0.028mm,定位精度为±4μm,满足直线电机定位平台轨迹跟踪控制的要求。
科技高速发展的今天,高速高精密技术己成为装备制造业的一个发展方向,静压气浮平台以高精度、无摩擦、温升小、寿命长等优点正好小、刚度低、稳定性差等缺点,限制了气浮平台应用的进一步推广。气浮平台的承载性能和稳定性之间是一种相互制约的关系,如果片面追求高的承载力和刚度,就会影响气浮平台的稳定性,压气浮平台的主要研究方向。研究：1、对闭式气浮平台的气膜进行全参数的三维流体建模和分析,根据分析得到的气膜压力分布情况,把气浮导轨简化成止推轴承。然后以止推轴承为分析对象,对气浮平台的气锤自激进行数值推导,得出气浮平台的气锤自激判定方程,并且利用Matlab进行数值仿真,分析气浮平台各结构参数对气锤自激的影响规律。
过去的几十年里,具有纳米/微纳米定位精度的精密定位平台越来越受到人们的关注,其广阔的应用前景和发展潜力使得对基于柔性/全柔顺并联机构的精密定位平台的研究具有重要意义。