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昴升（烟台）精密机器有限公司专业批发各种绝好的精密定位平台
精密定位平台已经成为IC和MEMS等行业完成加工、测量工作的基本设备平台。如何提高平台测量系统的精度,从而提高平台的定位精度是目前超精密工作平台所面临的一大难题。对现有的精密定位平台的基本结构以及常见的精密测量系统进行了综合分析,详细介绍了一种新型的测量装置———平面编码器的工作原理。
随着IC和MEMS的快速发展,对超精密加工、测量的要求也越来越高,精度要求的数量级也从毫米级、微米级到纳米级,甚至亚纳米级。因此,研制具有纳米精度的精密定位平台具有重要的意义。为了使平台达到纳米级精度,必须解决两个重要组成部件的关键技术问题,即高精度平台结构形式和纳米级精密测量系统的精度问题。
对二维直线运动平台末端出现偏摆误差、降低平台直线运动精度的现象，研制了一种新型的基于偏摆误差实时补偿的高速精密定位平台.基于电容式微位移传感检测技术，建立了新型精密定位平台的偏摆误差检测模型.采用赫兹接触理论，建立了滚珠导轨副的刚度模型，进而建立了基于滚珠丝杠驱动、直线滚珠导轨副支撑的宏动工作台的偏摆振动模型.实验结果验证了宏动工作台偏摆振动模型的有效性；采用微动工作台进行宏动工作台直线运动偏摆误差的实时补偿，新型精密定位平台的性能得到较大改善。欢迎联系昴升（烟台）精密机器有限公司批发绝好的精密定位平台。