3.1在线电解修整参数不同在线电解修整参数条件下对砂轮的影响如、、所示。从图中可以看出不同频率下各个电解电流的变化特性总趋势是相同的，但也有区别，频率篼时，电流在前期变化快，后期的残存电流值小。电源频率篼，电解效果好。占空比对电流的影响并不是线性关系的，占空比增大到一定值时，电解效果*好。超过这个值，电解效果变坏。在一定的范围内，输出电压大，电解效果好，但输出电压过高会造成过度电解，使砂轮损耗严重；输出电压过低，电解不充分，不能较好地形成氧化膜。因此本，出现凹凸的裂纹。其中c图为9号样品的原子力显微图，图b为10号样品的原子力显微图。

　　由和相比较可得出，经ELID磨削的石英玻璃表面是一个平面，而用传统加工方法得到的是一凸形图，相对来说平面的透光率好，光穿过玻璃表面的损失要比凸形图的少，所以由EUD超精密镜面磨削加工得到的石英玻璃表面的光学性质更好，更适合用于光学信息传递系4结论利用EUD对石英玻璃进行超精磨削，其表面粗糙度随砂轮进给量的增加而增加，随砂轮转速的增加先减少后增大。

　　根据原子力显微镜的形貌分析结果，当磨削处于*佳条件时，石英玻璃处于塑性磨削加工模式。*佳磨削条件是，砂轮粒度为W5，进给量1pm，砂轮转速为2060r/min，磨削表面的粗糙度达到=14.8nm利用EUD对石英玻璃进行超精磨削，其表面具有更高的平整性，从而具有更高的光学性质。